仪器名称
形状测量激光显微系统
规格型号
日本 KEYENCE VK-X1000
主要性能技术指标
非接触式测量、3D 表面形貌 视野范围广、测量精度高、分辨率高
扫描方式:自动上下限设定功能、反射光量不足补充功能
显微镜观察
主要功能和服务范围
样品微观形貌观察、测量表面粗糙度、膜层厚度
目镜倍数:×20;物镜倍数:×5,×10,×20,×50
送样要求
干燥固体,表面平整
联系人
周明;周科
放置地点
弘毅楼A309